一种减少金属腐蚀的清洗方法专利登记公告
专利名称：一种减少金属腐蚀的清洗方法
摘要：本发明公开了一种减少金属层腐蚀的清洗方法。本发明在刻蚀残余清洗完成后的去离子水漂洗过程中，加入氧化剂。本发明的漂洗方法可利用铝的表面钝化的性质，在铝的表面形成了一层致密氧化膜，有效地减少了腐蚀的产生。
专利类型：发明专利
专利号：CN201010620024.9
专利申请（专利权）人：安集微电子(上海)有限公司
专利发明（设计）人：王胜利;彭洪修;刘兵
主权项：一种减少金属层腐蚀的清洗方法，刻蚀后的金属层在经清洗液刻蚀残余清洗后，经去离子水漂洗，其特征在于：在所述去离子水中加入氧化剂。
专利地区：上海
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