起始层芯板的方法专利登记公告
专利名称:起始层芯板的方法
摘要:本发明提供一种起始层芯板的制作方法,其中,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。本发明提供的起始层芯板的制作方法,通过选用表面抛光的不锈钢材质的载板,避免材质为铜的载板表面的粗糙度高而影响线路层的品质,有利于减少种子层的厚度,降低起始层芯板的制造成本,再通过超声波分离技术来分离载板和起始层芯板,避免通过蚀刻来分离载板和起始层芯板时造成对线路层的侧蚀,从而提高起始层芯板的成品率。
专利类型:发明专利
专利号:CN201010620353.3
专利申请(专利权)人:北大方正集团有限公司
专利发明(设计)人:苏新虹;朱兴华
主权项:一种起始层芯板的制作方法,其特征在于,包括:在载板上制备至少一层种子层、至少一层线路层、铜柱层和半固化片叠层,得到起始层芯板;将所述起始层芯板与所述载板分离;所述载板由不锈钢或铝合金或钛合金制成。
专利地区:北京
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