成膜装置、成膜头和成膜方法专利登记公告

专利名称：成膜装置、成膜头和成膜方法

摘要：提供一种成膜装置，该成膜装置能够进行期望条件下的有机成膜材料和无机成膜材料的共蒸镀。该成膜装置具备：收纳被处理基板(G)的处理室；设置于处理室的外部的产生有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部；有机成膜材料供给部(22)，其设置于处理室的内部，将在蒸气产生部产生的有机成膜材料的蒸气喷出；无机成膜材料供给部(24)，其设置于处理室的内部，喷出无机成膜材料的蒸气；和混合室(23)，其将从有机成膜材料供给部(22)喷出的有机成膜材料的蒸气与从无机成膜材料供给部(24)喷出的无机成膜材料的蒸气混合，混合室(23)具备使有

专利类型：发明专利

专利号：CN201080044833.8

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：小野裕司;林辉幸

主权项：一种成膜装置，具备：收纳被处理基板的处理室；设置于该处理室的外部的产生有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部；和有机成膜材料供给部，其将由该蒸气产生部产生的有机成膜材料的蒸气向该被处理基板喷出，其特征在于：具备将无机成膜材料的蒸气向所述被处理基板喷出的无机成膜材料供给部，所述有机成膜材料供给部和无机成膜材料供给部，以所述有机成膜材料和无机成膜材料的被喷出部位在所述被处理基板上重复的方式配置。

专利地区：日本