基板干燥装置以及基板干燥方法专利登记公告

专利名称：基板干燥装置以及基板干燥方法

摘要：本发明提供一种基板干燥装置以及基板干燥方法，与马兰哥尼干燥相比，能够更有效地防止液滴残留在基板上，从而抑制水印的产生。对用具有反磁性的液体清洗过的基板进行干燥的基板干燥装置，具备：用于借助磁力而使附着于基板的液体移动的磁铁(4)、以及使磁铁(4)沿着基板向该基板的边缘侧移动的磁铁输送单元(5)。另外，在对用具有反磁性的液体清洗过的基板进行干燥时，使用于借助磁力而使附着于基板的液体移动的磁铁(4)接近基板，并使磁铁(4)沿着上述基板向该基板的边缘侧移动。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047228.6

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：田村明威

主权项：一种基板干燥装置，对用具有反磁性的液体清洗过的基板进行干燥，该基板干燥装置的特征在于，具备：磁铁，该磁铁用于借助磁力而使附着于基板的液体移动；和磁铁输送单元，该磁铁输送单元使上述磁铁沿着基板而向该基板的边缘侧移动。

专利地区：日本