晶圆载具专利登记公告

专利名称：晶圆载具

摘要：本发明涉及一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在其顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述侧板的两侧，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定在所述侧板的底部，以使侧板相隔预定的距离，并且具有在顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；其中，形成所述插槽，以使所述插槽的中部低于在所述插槽的底表面的宽度方向上的两端

专利类型：发明专利

专利号：CN201080048140.6

专利申请（专利权）人：EMP有限公司

专利发明（设计）人：林钟显;郑领哲;刘泳钟;金永均;崔铉喆

主权项：一种晶圆载具，包括：一对侧板，所述一对侧板具有在所述一对侧板的顶端形成的吊孔和插入孔；侧支撑杆，所述侧支撑杆固定在所述一对侧板的两侧，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述侧支撑杆具有在所述侧支撑杆的内侧沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；底部支撑杆，所述底部支撑杆固定至所述一对侧板的底表面，以使所述一对侧板相隔预定的距离，并且所述底部支撑杆具有在所述底部支撑杆的顶部沿着长度方向由固定突出部形成的插槽；以及屏蔽杆，所述屏蔽杆可拆卸地插入所述插入孔中，并且具有在所述屏蔽杆的底部沿着长度方向由固定突出部形成

专利地区：韩国