用于提高衬底载体的性能的方法专利登记公告

专利名称：用于提高衬底载体的性能的方法

摘要：一种修改衬底载体以提高处理性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080048148.2

专利申请（专利权）人：维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司

专利发明（设计）人：J·曼古姆;W·E·奎因

主权项：一种修改衬底载体以提高处理性能的方法，所述方法包括：a.在由衬底载体支撑的衬底上沉积至少一层；b.根据其在衬底载体上的对应位置测量所述至少一层的参数；c.使与衬底载体上的多个位置中的至少一些对应的测量的参数与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质；和d.在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得至少一个沉积的层的期望的参数。

专利地区：美国