用于除气室的石英窗专利登记公告

专利名称：用于除气室的石英窗

摘要：有五条边的石英窗，其被设置为安装在除气室上作为UV-透射窗，该石英窗由人造石英制成并具有均匀的厚度。该石英窗的形状由底表面、上表面和在该底表面和该上表面之间的侧壁。该侧壁具有通过5个弧形部相互连接的5个直线部。该石英窗具有延伸进入所述侧壁的4个弧形部。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080049309.X

专利申请（专利权）人：朗姆研究公司

专利发明（设计）人：贾森·奥古斯蒂诺;蒂姆·哈特

主权项：除气室的有五条边的石英窗，该石英窗含有厚度均匀的石英板，该石英板含有：底表面、上表面和在该底表面和该上表面之间延伸的侧壁，其中该侧壁包括通过5个弧形部相互连接的5个直线部。

专利地区：美国

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