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掺杂物源及其制造方法专利登记公告


专利名称:掺杂物源及其制造方法

摘要:本发明在于提供一种掺杂物源,其中,B2O3挥发量不易经时降低,长期具有良好的B2O3挥发能力。掺杂物源具有包括硼成分挥发层和耐热层的叠层体,其中,以摩尔%表示,硼成分挥发层含有30~60%的SiO2、10~30%的Al2O3、15~50%的B2O3和2~15%的RO,耐热层含有8~40%的SiO2、40~85%的Al2O3、5~30%的B2O3和0.5~7%的RO,其中,R是碱土金属。叠层体的至少一侧的最外层由硼成分挥发层构成。叠层体还在叠层体内部包括硼成分挥发层。构成叠层体的至少一侧的最外层的硼成分挥发

专利类型:发明专利

专利号:CN201080052777.2

专利申请(专利权)人:日本电气硝子株式会社

专利发明(设计)人:铃木良太;马屋原芳夫

主权项:一种掺杂剂源,其特征在于:具有包括硼成分挥发层和耐热层的叠层体,其中,以摩尔%表示,硼成分挥发层含有30~60%的SiO2、10~30%的Al2O3、15~50%的B2O3和2~15%的RO,耐热层含有8~40%的SiO2、40~85%的Al2O3、5~30%的B2O3和0.5~7%的RO,其中,R是碱土金属,所述叠层体的至少一侧的最外层由所述硼成分挥发层构成,并且,所述叠层体还在所述叠层体内部包括所述硼成分挥发层;构成所述叠层体的至少一侧的最外层的硼成分挥发层中的B2O3的含有率比所述叠层体内部的硼成分

专利地区:日本