加热控制系统及具备该加热控制系统的成膜装置、以及温度控制方法专利登记公告

专利名称：加热控制系统及具备该加热控制系统的成膜装置、以及温度控制方法

摘要：利用多个加热器对被加热物进行加热期间，为了实现不依赖于多个加热器电源特性偏差的加热控制系统，本发明的加热控制系统包括：检测出被加热物温度的热电偶（6M）、温度控制单元（3M）和温度控制单元（3S1）、检测出功率值（Wm）的电流/电压检测单元（5M）和检测出当前功率（PVs1）的电流/电压检测单元（5S1）、以及计算出目标功率（SPs1）的目标功率计算单元（1S1）。温度控制单元（3M）输入目标温度（SPm）和当前温度（PVm），并进行功率控制以使当前温度（PVm）与目标温度（SPm）相一致，目标功率计算单

专利类型：发明专利

专利号：CN201180005095.0

专利申请（专利权）人：夏普株式会社

专利发明（设计）人：坂上英和;冈田俊范

主权项：一种加热控制系统，包括：用于对被加热物进行加热的主加热器和子加热器；以及将功率提供给所述主加热器的主加热器电源和将功率提供给所述子加热器的子加热器电源，对主加热器进行温度控制以使被加热物的温度成为目标温度，对子加热器进行功率控制以使提供给主加热器的第一功率和提供给子加热器的第二功率成为规定比率，该加热控制系统的特征在于，包括：对被加热物的温度进行检测的温度检测单元；主加热器用温度控制单元和子加热器用温度控制单元；检测出所述第一功率的主加热器用功率检测单元和检测出所述第二功率的子加热器用功率检测单元；以及计

专利地区：日本