定向自组装方法以及由此形成的分层结构专利登记公告

专利名称：定向自组装方法以及由此形成的分层结构

摘要：一种形成包括自组装材料的分层结构的方法，包括：在衬底上布置非交联的光刻胶层；将光刻胶层图案式曝光于第一辐射；可选地加热已曝光光刻胶层；采用含水碱性显影剂在第一显影工艺中显影已曝光光刻胶层，从而形成初始图案化光刻胶层；光化学地、热地和/或化学地处理初始图案化光刻胶层，由此形成包括布置在第一衬底表面上的未交联的已处理光刻胶的已处理图案化光刻胶层；在已处理图案化光刻胶层上浇铸定向控制材料在第一溶剂中的溶液，并且去除第一溶剂，从而形成定向控制层；加热定向控制层以有效地将定向控制材料的一部分结合至第二衬底表面；在第

专利类型：发明专利

专利号：CN201080057340.8

专利申请（专利权）人：国际商业机器公司

专利发明（设计）人：D·P·桑德斯;J·程;W·辛斯伯格;H-C·金;M·科尔伯恩;S·哈勒;S·霍姆斯

主权项：一种形成包括自组装材料的分层结构的方法，包括：在衬底上布置非交联的光刻胶层；将所述光刻胶层图案式曝光于第一辐射；可选地加热已曝光光刻胶层；采用含水碱性显影剂在第一显影工艺中显影所述已曝光光刻胶层，从而形成初始图案化光刻胶层；光化学地、热地和/或化学地处理所述初始图案化光刻胶层，由此形成包括布置在第一衬底表面上的未交联的已处理光刻胶的已处理图案化光刻胶层；在所述已处理图案化光刻胶层上浇铸定向控制材料在第一溶剂中的溶液，并且去除所述第一溶剂，从而形成定向控制层；加热所述定向控制层以有效地将所述定向控制材料的一

专利地区：美国