位于具有可由溶液低温加工的电介质的机械柔性聚合物衬底上的金属氧化物场效应晶体管专利登记公告

专利名称：位于具有可由溶液低温加工的电介质的机械柔性聚合物衬底上的金属氧化物场效应晶体管

摘要：本发明一种制备包含至少一个衬底、至少一种电介质和至少一种半导体金属氧化物的电子组件，尤其是场效应晶体管(FET)的方法，其中基于有机改性二氧化硅化合物，尤其是基于倍半硅氧烷和/或硅氧烷的电介质或其前体化合物可由溶液加工且在室温至350°的低温下热处理，并且所述半导体金属氧化物，尤其是ZnO，或其前体化合物也可在室温至350°的低温下由溶液加工。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080057432.6

专利申请（专利权）人：巴斯夫欧洲公司

专利发明（设计）人：F·弗莱施哈克尔;V·弗洛卡;T·凯泽

主权项：一种制备包含至少一个衬底、至少一种电介质和至少一种半导体金属氧化物的电子组件的方法，所述方法包括如下步骤：(A)单次或反复施加包含至少一种基于有机改性二氧化硅化合物的电介质或其前体化合物的溶液，或者单次或反复施加包含至少一种半导体金属氧化物或其前体化合物的溶液或分散体至衬底上，从而获得涂覆有相应溶液或分散体的衬底，(B)在室温至350°C的温度下热处理获自步骤(A)的涂覆衬底，从而获得涂覆有电介质或半导体金属氧化物的衬底，(C)如果在步骤(A)中施加包含至少一种基于有机改性二氧化硅化合物的电介质或其前体化

专利地区：德国