应力减小的SOS基板专利登记公告

专利名称：应力减小的SOS基板

摘要：提供一种应力减小的SOS基板。该SOS基板是包括蓝宝石基板和在该蓝宝石基板上或上方的单晶硅膜的蓝宝石上硅(SOS)基板。在该SOS基板的整个平面区域上，通过拉曼位移方法测得的该SOS基板的硅膜的应力为2.5×108Pa或更小。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080059990.6

专利申请（专利权）人：信越化学工业株式会社

专利发明（设计）人：秋山昌次

主权项：一种蓝宝石上硅(SOS)基板，包括蓝宝石基板和在所述蓝宝石基板上或上方的单晶硅膜，其中在所述SOS基板的整个平面区域上，通过拉曼位移方法测得的硅膜的应力具有2.5×108Pa或更小的绝对值。

专利地区：日本

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