扫描装置及等离子体加工设备专利登记公告

专利名称：扫描装置及等离子体加工设备

摘要：本发明提供一种扫描装置以及等离子体加工设备，所述扫描装置用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其中，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。本发明的扫描装置不仅可以在二维方向扫描盒内的托盘，而且可以对托盘的位置进行校准。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110002687.9

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：李谦

主权项：一种扫描装置，用于对放置在托盘盒内的托盘进行扫描，其特征在于，包括驱动单元、支撑体、支架、定位部件以及接触传感器，所述接触传感器设置在所述定位部件上，所述定位部件设置在所述支架上且对应所述托盘盒内用于放置托盘的槽位，所述支架与所述支撑体连接，所述支架在所述驱动单元的作用下远离或靠近所述支撑体以使所述接触传感器远离或接触所述托盘。

专利地区：北京