工件台专利登记公告

专利名称：工件台

摘要：本发明提出一种工件台，包括基座、安装底板、承片台、第一永磁体、第二永磁体、水平向电机和垂向电机。安装底板设置在基座上方。承片台悬浮于安装底板上方。多个第一永磁体分别在安装底板的上表面与承片台的下表面，提供相斥的磁力，形成一定的垂向磁浮间隙。多个第二永磁体分别在安装底板与承片台的侧面，提供相斥的磁力，形成一定的侧向磁浮间隙。多个水平向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在X、Y、Rz向的微动。多个垂向电机安装在安装底板与承片台上，提供承片台在Rx、Ry、Z向的微动。本发明提出的工件台具有六自由度方向的高

专利类型：发明专利

专利号：CN201110060978.3

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：袁志扬;陈军

主权项：一种工件台，其特征是，包括：基座；安装底板，设置在所述基座上方；承片台，悬浮于所述安装底板上方；以及多个第一永磁体，分别在所述安装底板的上表面与所述承片台的下表面，提供相斥的磁力；多个第二永磁体，分别在所述安装底板与所述承片台的侧面，提供相斥的磁力；多个水平向电机，安装在所述安装底板与所述承片台上，提供所述承片台在X、Y、Rz向的微动；以及多个垂向电机，安装在所述安装底板与所述承片台上，提供所述承片台在Rx、Ry、Z向的微动。

专利地区：上海