用于传送衬底进行键合的装置专利登记公告

专利名称：用于传送衬底进行键合的装置

摘要：本发明公开了一种用于在衬底上完成键合的键合装置，包含有：第一衬底固定部件用于在键合期间夹持第一衬底，第二衬底固定部件用于在键合期间夹持第二衬底，每一个衬底固定部件被操作来在其各自的用于接收衬底的装载位置、键合衬底的键合位置和键合后的衬底从衬底固定部件处移离的卸载位置之间顺序移动；第一驱动机构，其被操作来沿着第一进给路径从其装载位置驱动第一衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第一返回路径从其卸载位置驱动第一衬底固定部件至其装载位置；第二驱动机构，其被操作来沿着第二进给路径从其装载位置驱动第二衬底固定部件至其键

专利类型：发明专利

专利号：CN201110453629.8

专利申请（专利权）人：先进自动器材有限公司

专利发明（设计）人：吴敏聪;林永辉;古中威

主权项：一种用于在衬底上完成键合的键合装置，该装置包含有：第一衬底固定部件和第二衬底固定部件，第一衬底固定部件用于在键合期间夹持第一衬底，第二衬底固定部件用于在键合期间夹持第二衬底，第一衬底固定部件和第二衬底固定部件中每一个被操作来在其各自的用于接收衬底的装载位置、键合衬底的键合位置和键合后的衬底从衬底固定部件处移离的卸载位置之间顺序移动；第一驱动机构，其被操作来沿着第一进给路径从其装载位置驱动第一衬底固定部件至其键合位置，以及沿着第一返回路径从其卸载位置驱动第一衬底固定部件至其装载位置；以及第二驱动机构，其被操

专利地区：香港