处理和/或分析样品的粒子束装置和方法专利登记公告

专利名称：处理和/或分析样品的粒子束装置和方法

摘要：本发明涉及一种用于处理和/或分析样品(8)的粒子束装置(1)和方法。该粒子束装置(1)和该方法的特征在于：样品载具(24)布置在第一位置，其中样品表面(32)平行于第一粒子束柱(2)的第一束轴(21)。样品载具(24)可以从第一位置旋转到第二位置，在第二位置，样品表面(32)垂直于第二粒子束柱(3)的第二束轴(22)。第一束轴(21)和第二束轴(22)在重合点(23)处相交。在第一位置，重合点(23)和第一粒子束柱(2)之间的距离大于样品表面(32)和第一粒子束柱(2)之间的距离。而且，在第二位置，重合点

专利类型：发明专利

专利号：CN201210005767.4

专利申请（专利权）人：卡尔蔡司NTS有限责任公司

专利发明（设计）人：A.谢尔特尔

主权项：一种粒子束装置(1)，包括：至少一个第一粒子束柱(2)，其具有第一束轴(21)并且设计用于产生第一粒子束，至少一个第二粒子束柱(3)，其具有第二束轴(22)并且设计用于产生第二粒子束，其中所述第一粒子束柱(2)和所述第二粒子束柱(3)被相对于彼此布置，使得所述第一束轴(21)和所述第二束轴(22)形成与0°和180°不同的第一角度(W1)，至少一个样品载具(24)，其能够围绕旋转轴(25)旋转，其中所述旋转轴(25)与所述第一束轴(21)形成第二角度(W2)，其中所述旋转轴(25)与所述第二束轴(22)形

专利地区：德国