一种纳米尺度器件散热特性的测试结构和测试方法专利登记公告

专利名称：一种纳米尺度器件散热特性的测试结构和测试方法

摘要：本发明公布了一种纳米尺度器件散热特性的测试结构和测试方法。结构包括源(1)、漏(2)、栅(3)三部分，源(1)和漏(2)之间有一根悬空纳米线(5)；栅(3)和漏(2)之间有绝缘层(6)；该结构采用围栅结构，栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。由源端开始一直到栅，每隔一段距离在纳米线上取一个点，采用高功率激光依次给纳米线上各个点加热，通过所测得的各个点的拉曼光谱的峰移，计算出每个点与源、漏端之间的温差，进而求得每个点的温度；计算由栅这条路径的总的热阻RTHG和从栅到漏端之间的纳米线热阻RTHD；比较RTH

专利类型：发明专利

专利号：CN201210005993.2

专利申请（专利权）人：北京大学

专利发明（设计）人：黄如;林增明;王润声;邹积彬;孙帅

主权项：一种纳米尺度器件散热特性的测试结构，包括源(1)、漏(2)、栅(3)三部分，其特征是，其中源(1)和漏(2)之间有一根悬空纳米线(5)；栅(3)和漏(2)之间有绝缘层(6)；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来，栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。

专利地区：北京