一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构和测试方法专利登记公告

专利名称：一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构和测试方法

摘要：本发明公布了一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构和测试方法。所述测试结构，包括源(1)、漏(2)、栅(3)，源(1)和漏(2)由一根悬空纳米线(5)相连；漏(2)端包含加热结构；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来；栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。制作N个所述测试结构，并给每个测试结构加热，计算出每个结构的散热比，进而得出小尺寸器件时的散热的主要途径。本发明实现了对纳米尺度器件散热特性进行测试，对纳米尺度器件散热结构的设计和材料的选取给出了直接的指导，并且为今后的热阻网络和器件

专利类型：发明专利

专利号：CN201210006026.8

专利申请（专利权）人：北京大学

专利发明（设计）人：黄如;林增明;王润声;邹积彬;孙帅

主权项：一种纳米线围栅器件散热特性的测试结构，所述测试结构包括源(1)、漏(2)、栅(3)，其特征是，源(1)和漏(2)由一根悬空纳米线(5)相连；漏(2)端包含加热结构；所述结构采用的是围栅结构，即栅(3)将纳米线(5)包围起来；栅(3)的一端与一个接线板(4)相连。

专利地区：北京