一种AMOLED器件及制作方法专利登记公告
专利名称:一种AMOLED器件及制作方法
摘要:本发明提供了一种AMOLED器件及制作方法,涉及主动型有机电致发光器件的制造领域,用于制备出全硅基的AMOLED器件,以降低成本提高产量。该方法,包括:在基板上形成多晶硅层;对多晶硅层进行处理,形成有源区和像素电极区;在有源区上形成栅绝缘层;在基板上形成位于有源区上的栅绝缘层上的栅极;以栅极为掩膜对有源区和像素电极区进行掺杂工艺处理,以使所述有源区形成源极区、有源层、漏极区,使所述像素电极区形成像素电极层;通过薄膜沉积工艺在像素电极层对应的所述像素界定层上形成OLED器件。本发明用于制造AMOLED器件。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210006389.1
专利申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
专利发明(设计)人:李延钊;王刚;王东方;姜春生
主权项:一种AMOLED器件的制作方法,其特征在于,包括:在基板的一面上形成多晶硅层;对所述多晶硅层进行构图工艺处理,形成有源区和像素电极区;通过构图工艺处理在所述有源区上形成栅绝缘层;通过构图工艺处理在所述栅绝缘层上形成栅极,其中,所述栅极位于所述有源区上的栅绝缘层上;以所述栅极为掩膜对所述有源区和像素电极区进行掺杂工艺处理,以使所述有源区形成源极区、有源层、漏极区,使所述像素电极区形成像素电极层;在源极区、漏极区通过制备源极金属电极和漏极金属电极形成源极、漏极;通过薄膜沉积工艺在所述像素电极层对应的所述像素界
专利地区:北京
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