薄膜基板的制造方法专利登记公告

专利名称：薄膜基板的制造方法

摘要：本发明提供在薄膜基板上高效且稳定地形成图案的制造方法。提供一种薄膜基板的制造方法，其特征在于，依次层叠有薄膜基板、临时固定用粘合粘接剂、硬质基板，借助于粘合粘接剂将薄膜基板固定在硬质基板上之后，进行图案形成，其后，在薄膜基板与粘合粘接剂的界面处进行剥离。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210054263.1

专利申请（专利权）人：日东电工株式会社

专利发明（设计）人：新谷寿朗;有满幸生

主权项：一种薄膜基板的制造方法，其特征在于，其是形成有图案的薄膜基板的制造方法，在设置于硬质基板表面的粘合粘接剂层上固定薄膜基板之后，在该薄膜基板上形成图案，接着，将薄膜基板在其与粘合粘接剂的界面处剥离。

专利地区：日本