多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法专利登记公告

专利名称：多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法

摘要：本发明公开了一种多晶硅断裂强度的在线测试结构及其测试方法，对测试结构进行简单的电流激励并测量相关电阻，将测量得到的相关电阻值代入计算公式，利用多个计算方程消去热膨胀系数，最终得到多晶硅的断裂强度。本发明的测试方法简单，测试设备要求低，测试结构的加工过程与微机电器件MEMS同步，没有特殊加工要求，符合在线测试的要求，计算方法仅限于简单数学方程，测试与计算过程稳定，输出结果可靠。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210007367.7

专利申请（专利权）人：东南大学

专利发明（设计）人：李伟华;张卫青;周再发;刘海韵;蒋明霞

主权项：一种多晶硅断裂强度的在线测试结构，其特征在于，包括第一测试单元、第二测试单元、第三测试单元和绝缘衬底，所述第一测试单元、第二测试单元和第三测试单元设置在绝缘衬底上；所述第一测试单元包括第一对固定锚区(C?C)、第一独立锚区(D)、第一多晶硅接触块(101)、第一多晶硅指针(102)和第一多晶硅膨胀条(103)，其中：第一对固定锚区(C?C)和第一独立锚区(D)分别固定在绝缘衬底上，第一多晶硅膨胀条(103)的两端分别固定在第一对固定锚区(C?C)上，第一多晶硅指针(102)的一端固定在第一多晶硅膨胀条(1

专利地区：江苏