印刷电路板图形拼接误差的修正方法专利登记公告

专利名称：印刷电路板图形拼接误差的修正方法

摘要：本发明涉及印刷电路板图形转换技术领域，具体涉及一种用于激光直接成像曝光设备中的印刷电路板图形拼接误差的修正方法。本修正方法首先通过光学装置在基底上投影二维拼接图形，再通过显微装置确定二维拼接图形的拼接形变处；随即确定所述二维拼接图形的拼接形变处的拼接误差值ΔX和ΔY；最后将ΔX和ΔY通过软件补偿的方式输入平台移动控制器，所述平台移动控制器控制载物平台移动以修正二维拼接图形的形变。本发明通过显微装置确定二维拼接图形的拼接形变处，并精确测量拼接形变处的拼接误差值，再将拼接误差值补偿入平台移动控制器以解决图形形

专利类型：发明专利

专利号：CN201210008440.2

专利申请（专利权）人：合肥芯硕半导体有限公司

专利发明（设计）人：严孝年;谭忠文;杨毓铭

主权项：一种印刷电路板图形拼接误差的修正方法，其特征在于包含如下步骤：1)、通过光学装置在基底上投影用于测量的二维拼接图形，所述基底设置在载物平台上；2)、当所述二维拼接图形在基底上显影后，通过显微装置确定二维拼接图形的拼接形变处；3)、确定所述二维拼接图形的拼接形变处的拼接误差值，所述拼接误差值包括二维拼接图形在X方向上的拼接误差值即ΔX和Y方向上的拼接误差值即ΔY；4)、将所得到的ΔX和ΔY通过软件补偿的方式输入平台移动控制器，所述平台移动控制器控制载物平台移动以修正二维拼接图形的拼接误差。

专利地区：安徽