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导模法同步生长多条晶体的热场及方法专利登记公告


专利名称:导模法同步生长多条晶体的热场及方法

摘要:本发明提供一种导模法同步生长多条晶体的热场,其包括加热保温装置、坩埚和籽晶夹头装置,加热保温装置包括发热体;坩埚具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁;发热体为使坩埚的内部与其第一侧壁、第二侧壁等距的位置处温度相等的结构;坩埚内设置有并排式模具,并排式模具包括多个模具片,每一模具片到坩埚的第一侧壁、第二侧壁的距离相等,且每一模具片的上表面均与所要生长的晶体的截面尺寸、形状相同;并排式模具的上方设置籽晶,籽晶底部具有一可与每一模具片的上表面同时接触的熔接面。本发明还提供一种采用上述热场通过导模法同步生长多条晶体的

专利类型:发明专利

专利号:CN201210008917.7

专利申请(专利权)人:徐州协鑫光电科技有限公司

专利发明(设计)人:罗平;孟智勇;郑伟

主权项:一种导模法同步生长多条晶体的热场,其至少包括加热保温装置、设置于加热保温装置内部的坩埚和用于提拉籽晶的籽晶夹头装置,所述加热保温装置包括设置于坩埚外周的用于加热坩埚的发热体,其特征在于:所述坩埚具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁;所述发热体为使所述坩埚的内部、与其第一侧壁和第二侧壁等距的位置处温度相等的结构;所述坩埚内设置有并排式模具,所述并排式模具包括并排固定在所述坩埚内、结构相同的多个模具片,每一模具片到所述坩埚的第一侧壁、第二侧壁的距离相等,且每一模具片的上表面均与所要生长的晶体的截面尺寸、形状相同;

专利地区:江苏