一种光束传输稳定装置专利登记公告

专利名称：一种光束传输稳定装置

摘要：本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路上放置分光镜(44)，分光镜(44)将光束分成两束，一束光束进入照明系统(5)，另一束光束进入光束测量模块(45)，光束测量模块(45)与控制器(46)相连，用于向控制器(46)提供测量数据，控制器(46)与光束控制模块的第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元

专利类型：发明专利

专利号：CN201210030456.3

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：甘大春;王建;林妩媚;张海波;廖志杰

主权项：一种光束传输稳定装置，包括光束控制模块和控制器(46)，还包括光束测量模块(45)，其特征在于，所述光束控制模块放置于传输光路上，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)和第三光束控制单元(43)；光束依次通过第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)和第三光束控制单元(43)后经分光镜(44)分束，光束经过所述分光镜(44)后被分为第一光束和第二光束，所述的第一光束占据原光束的绝大部分能量，并继续向前传输进入光刻照明系统，所述的第二光束进入光束测量模块(45)，所述的控

专利地区：四川