一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法

摘要：本发明涉及一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法，其特点是化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1＜y＜7；0.1＜z＜1.5。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：工艺设备简单，成本较低，易于工业化生产。相较于单一Al2O3掺杂AZO靶材，其溅射镀膜层具有高可见光透过率(≥90％)和近近红外(800-1800nm)高透光性(≥75％)及提高的耐湿热(60℃，90％RH湿度)特性(附表)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210041329.3

专利申请（专利权）人：西北稀有金属材料研究院

专利发明（设计）人：刘孝宁;刘秉宁;孙本双;征卫星;杨小林;王廷东;马建保;韩建华

主权项：一种掺杂氧化锌基溅射靶材，其特征在于化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1＜y＜7；0.1＜z＜1.5。

专利地区：宁夏