裸片拾取装置专利登记公告

专利名称：裸片拾取装置

摘要：在裸片拾取装置中，确保稳定的片剥离性能，通过吸嘴(30)的衬垫(30a)吸附保持切割片(29)上的裸片(21)，且从该裸片(21)的粘贴部分的近前侧使剥离台(18)向该裸片(21)的粘贴部分的正下方滑动，从而逐渐片剥离该裸片(21)的粘贴部分后，使吸嘴(30)上升，拾取裸片(21)，吸嘴(30)的衬垫(30a)的吸附面部由多孔质部件或多孔状部件形成，使孔的面积相对片剥离开始侧的吸附面的比(气孔率)、大于孔的面积相对片剥离结束侧的吸附面的比地构成，这样一来，可使吸嘴(30)的衬垫(30a)的片剥离开始侧的吸

专利类型：发明专利

专利号：CN201210051949.5

专利申请（专利权）人：富士机械制造株式会社

专利发明（设计）人：岩城范明;滨根刚;森一明

主权项：一种裸片拾取装置，具有：吸嘴，拾取粘贴了切割晶圆而形成的多个裸片的切割片上的裸片；剥离台，对通过上述吸嘴拾取的裸片的粘贴部分进行片剥离，通过上述吸嘴的衬垫吸附保持上述切割片上的裸片，使上述剥离台从该裸片的粘贴部分的近前侧滑动至该裸片的粘贴部分的正下方，从而对该裸片的粘贴部分进行片剥离，其特征在于，上述吸嘴的衬垫形成为使片剥离开始侧的吸附力大于片剥离结束侧的吸附力。

专利地区：日本