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书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置专利登记公告


专利名称:书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置

摘要:本发明公开了一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法,其特征在于:采用流量控制装置控制电解液的流量和速度,电解液与电源的阳极端相连,导电体与电源的阴极端相连,电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。导电体包括但不限于ITO、ZnO、SnO2等透明导电氧化物。电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液中的一种或几种。

专利类型:发明专利

专利号:CN201210052352.2

专利申请(专利权)人:迅力光能(昆山)有限公司

专利发明(设计)人:胡志华;曾美华;陈安;邢永强

主权项:一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法,其特征在于:采用流量控制装置控制电解液的流量和速度,电解液与电源的阳极端相连,导电体与电源的阴极端相连,电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。

专利地区:江苏