一种并行共焦检测系统及方法专利登记公告

专利名称：一种并行共焦检测系统及方法

摘要：本发明揭示了一种并行共焦检测系统及方法，所述系统包括单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC。单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束聚焦的被测物表面，被测物反射的光入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描。通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，使可变焦透镜的焦距改变一个微小的值Δf，此时再记录探测器上的光强数值；根据扫描后得到

专利类型：发明专利

专利号：CN201210057590.2

专利申请（专利权）人：上海理工大学

专利发明（设计）人：张运波;杨召雷;句爱松;彭博方;董洪波;胡凯;侯文玫

主权项：一种并行共焦检测系统，其特征在于，所述系统包括：单色LED光源、数字微镜、两个透镜、分光棱镜、电控可变焦透镜、探测针孔、光强探测器、电压控制器、PC；单色LED光源发出的光通过经过集光镜照射到数字微镜表面，光源被数字微镜调制后形成针孔阵列，再通过透镜变为平行光束，通过无偏振分光棱镜、电控可变焦透镜、聚焦的被测物表面，被测物反射的光经电控可变焦透镜、分光棱镜、透镜探测针孔，入射到光强阵列探测器上，通过PC记录光强度，通过数字微镜器件实现对样品的横向或轴向扫描；然后通过PC控制加到电控可变焦透镜上的电压，从而

专利地区：上海