在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法专利登记公告

专利名称：在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法

摘要：本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法，该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据；待测球面半径的测量采用单频激光干涉法，口径的测量用游标卡尺；调整误差的去除采用最佳拟合理想球面模型；通过此模型找到理想球面的位置和半径，并移动干涉仪测得的波面使其中心与理想球面球心重合；本发明通过对球面干涉检测的研究，提供了一种光学元件球面面形检测中消除调整误差的新方法，对高精度光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210067769.6

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：张金春;汪凯巍;白剑;吴永前

主权项：一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）、采用单频激光干涉法测得被测球面的曲率半径???????????????????????????????????????????????；（2）、测出被测球面的口径D，计算被测球面的F数，，根据被测球面F数选择参考球面镜，使参考球面镜的F数小于被测球面的F数；（3）、把参考球面镜安装到干涉仪上，调整干涉仪的光路，测出带有安装误差的从被测球面返回的被测波面W，，其中，和分别为CCD相机面上像素的横坐标和纵坐标，为对应的像素探测

专利地区：浙江