半导体装置、应变仪、压力传感器及半导体装置的制造方法专利登记公告
专利名称:半导体装置、应变仪、压力传感器及半导体装置的制造方法
摘要:本发明涉及一种半导体装置、应变仪、压力传感器及半导体装置的制造方法。本发明提供一种半导体装置,其具有因外力的作用而使半导体的电阻值变化的压电电阻体,其特征在于,具有作为上述半导体起作用的被氢终端化的金刚石表面。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210061944.0
专利申请(专利权)人:横河电机株式会社
专利发明(设计)人:竹中一马;新谷幸弘
主权项:一种半导体装置,其具有压电电阻体,该压电电阻体因外力的作用而使半导体的电阻值变化,其特征在于,具有作为上述半导体起作用的被氢终端化的金刚石表面。
专利地区:日本
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