TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法专利登记公告

专利名称：TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法

摘要：本发明公开了一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层及其制备方法。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜刀具涂层组分主要为TiAlN和Ta，由TiAlN和Ta交替沉积制备，涂层最外层为TiAlN层。TiAlN层和Ta层的厚度和沉积次数都可根据具体要求和具体的沉积设备确定。本发明所述的TiAlN/Ta多层膜涂层可利用气相沉积方法获得。本发明在刀具基体的基础上交替沉积，是一种新型多功能刀具涂层，它具有高硬度和优良抗氧化性能。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210065253.8

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：邵天敏;商宏飞;李健

主权项：一种TiAlN/Ta多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体的基础上，依次交替沉积TiAlN层和Ta层，沉积的内层是TiAlN层，最外层也是TiAlN层。

专利地区：北京