载置台构造以及处理装置专利登记公告

专利名称：载置台构造以及处理装置

摘要：本发明提供载置台构造以及处理装置，能防止对载置台产生大的热应力，防止该载置台自身破损，并且能抑制防止腐蚀用的吹扫气体的供给量。本发明涉及设置在能够排出内部的气体的处理容器(22)内，用于载置被处理体(W)的载置台构造(54)。该载置台构造(54)具备：载置被处理体(W)，由电介质构成的载置台(58)；设于载置台(58)，加热载置于载置台(58)的被处理体(W)的加热单元(64)；由电介质构成的多个保护支柱管(60)，它们以相对处理容器(22)的底部(44)竖立的方式设置，上端部与载置台(58)的下表面接合

专利类型：发明专利

专利号：CN201210069433.3

专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社

专利发明（设计）人：田中澄;小松智仁;川崎裕雄

主权项：一种载置台构造，其设置在能够排出内部气体的处理容器内，用于载置被处理体，其特征在于，具备：载置台，其载置上述被处理体，且由电介质构成；加热单元，其设于上述载置台，对载置于上述载置台的上述被处理体进行加热；由电介质构成的多个保护支柱管，它们以相对于上述处理容器的底部竖立的方式设置，上端部与上述载置台的下表面接合来支承上述载置台；功能棒体，其插在上述各保护支柱管内并延伸到上述载置台，在上述载置台上形成销插通孔，以便插通用于升降上述被处理体的推升销，在上述销插通孔连结有销插通孔用吹扫气体供给单元，该销插通孔用吹

专利地区：日本