一种扩散炉的柔性密封启闭装置专利登记公告

专利名称：一种扩散炉的柔性密封启闭装置

摘要：本发明涉及一种扩散炉的柔性密封启闭装置，包括炉门、垂直气缸和气杆固定缸体可自由移动的水平气缸，所述垂直气缸的缸体部位固定在水平气缸的缸体部位上，垂直气缸的气杆与炉门固定，水平气缸与石英管平行设置在同一平面内，位于石英管侧的水平气缸的气杆上还具有用于限定炉门位置的限位装置，限位装置包括均套装在水平气缸气杆上的固定块、滑块和固定在固定块和滑块之间的弹簧，所述滑块固定连接在水平气缸的缸体上，所述固定块固定在水平气缸气杆上。本发明通过在控制炉门的水平气缸的气杆上装一个带有弹簧的限位装置，限位装置能限定炉门的位置，

专利类型：发明专利

专利号：CN201210074861.5

专利申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司

专利发明（设计）人：钱杰

主权项：一种扩散炉的柔性密封启闭装置，用于防止炉门(1)与石英管(2)的硬性接触，包括炉门(1)、垂直气缸(3)和气杆固定缸体可自由移动的水平气缸(4)，所述垂直气缸(3)的缸体部位固定在水平气缸(4)的缸体部位上，垂直气缸(3)的气杆与炉门(1)固定，所述水平气缸(4)与石英管(2)平行设置在同一平面内，其特征在于：位于石英管(2)侧的水平气缸(4)的气杆上还具有用于限定炉门(1)位置的限位装置(5)，所述限位装置(5)包括均套装在水平气缸(4)气杆上的固定块(51)、滑块(52)和固定在固定块(51)和滑块(

专利地区：江苏