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一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置专利登记公告


专利名称:一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置

摘要:一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置,属于单晶生长技术领域,特别是涉及感应加热物理气相传输生长单晶的装置。包括保温筒,在所述保温筒内设有外坩埚,在所述外坩埚内设有内坩埚,单晶原料与籽晶位于内坩埚内。与使用单坩埚的现有技术相比,本发明不但可以大大减少高熔点坩埚材料的消耗,而且内坩埚取出时不会蹭掉保温材料,从而延长了保温材料的使用寿命。

专利类型:发明专利

专利号:CN201210094285.0

专利申请(专利权)人:北京华进创威电子有限公司

专利发明(设计)人:倪代秦;吴星;赵岩;何丽娟;王雷;杨巍;马晓亮;李晋

主权项:一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置,包括保温筒,其特征在于:在所述保温筒内设有外坩埚,在所述外坩埚内设有内坩埚,内外坩埚同轴,单晶原料与籽晶位于内坩埚内。

专利地区:北京