一种提高静态随机存储器写入冗余度的方法专利登记公告
专利名称:一种提高静态随机存储器写入冗余度的方法
摘要:本发明公开了一种提高静态随机存储器读出冗余度的方法,包括下列步骤:提供静态随机存储器衬底,所述衬底上包括依次相邻的NMOS区域、第一PMOS区域和第二PMOS区域,所述第一NMOS区域用于制备普通NMOS器件、控制管和下拉管,所述第一PMOS区域用于制备普通PMOS器件,所述第二PMOS区域用于制备上拉管;在所述NMOS区域、所述第一PMOS区域和所述第二PMOS区域之间形成浅槽隔离区;同时对所述NMOS区域和所述第二PMOS区域采取局部应变硅技术,使得所述NMOS区域和所述第二PMOS区域均位于锗硅虚拟
专利类型:发明专利
专利号:CN201210136000.5
专利申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司
专利发明(设计)人:俞柳江
主权项:一种提高静态随机存储器写入冗余度的方法,其特征在于,包括下列步骤:提供静态随机存储器衬底,所述衬底上包括依次相邻的NMOS区域、第一PMOS区域和第二PMOS区域,所述第一NMOS区域用于制备普通NMOS器件、控制管和下拉管,所述第一PMOS区域用于制备普通PMOS器件,所述第二PMOS区域用于制备上拉管;在所述NMOS区域、所述第一PMOS区域和所述第二PMOS区域之间形成浅槽隔离区;同时对所述NMOS区域和所述第二PMOS区域采取局部应变硅技术,使得所述NMOS区域和所述第二PMOS区域均位于锗硅虚拟
专利地区:上海
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