大型表膜构件的框体的把持方法专利登记公告

专利名称：大型表膜构件的框体的把持方法

摘要：本发明提供大型表膜构件的框体的把持方法。该框体具有由多条边构成的多边形形状的框体、由粘接在该框体的上缘面的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料构成，在把持上述框体的最长边的长度为1m以上的大型表膜构件的上述框体时，上述框体在所有的边部上分别具有把持用的凸部或凹部，通过在上述框体的各边部上分别同时把持至少1处以上的把持用的凸部或凹部，能够可靠地把持框体，而且在将表膜构件粘贴于光掩模时不会产生歪斜、挠曲而简单地将表膜构件从容纳容器取出。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210140722.8

专利申请（专利权）人：旭化成电子材料株式会社

专利发明（设计）人：谷村彰浩;前田拓郎

主权项：一种大型表膜构件的框体的把持方法，该框体具有由多条边构成的多边形形状，能够在该框体的上缘面粘接表膜，在该框体的下缘面涂敷粘合材料，上述框体的最长边的长度为1m以上，其中，上述框体在所有的边部分别具有把持用的凸部或凹部；在上述框体的所有边部上分别把持至少1处的把持用的凸部或凹部而进行搬运。

专利地区：日本