一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法专利登记公告

专利名称：一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法

摘要：本发明公开了一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法，其中，薄膜晶体管包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。本发明有源层由同一材料不同工艺制作成复合膜层，并在源/漏电极接触区通过金属化的方法，降低接触电阻；采用优化溅镀工艺制作绝缘层

专利类型：发明专利

专利号：CN201210141255.0

专利申请（专利权）人：东莞彩显有机发光科技有限公司;东莞有机发光显示产业技术研究院;东莞宏威数码机械有限公司

专利发明（设计）人：张耿;向桂华;王娟;赵伟明;孙庆华;蔡君蕊

主权项：一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管，包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；其特征在于：该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。

专利地区：广东