一种石墨舟自动装卸片升降传递装置专利登记公告

专利名称：一种石墨舟自动装卸片升降传递装置

摘要：本发明涉及一种用于PECVD石墨舟自动装卸片的升降传递装置，包括竖直放置的框架和用于暂存硅片的中转片盒，所述框架正面安装可带动片盒上下滑动的片盒升降机构，所述框架的一侧设有可带动中转片盒上下滑动的硅片中转机构，并在硅片中转机构的一侧设有可在片盒升降机构和硅片中转机构中水平传递片盒的硅片传递机构；所述片盒升降机构、硅片中转机构和硅片传递机构构成第一组升降传递装置，并在框架的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置。使用本发明的整套升降传递装置可快速、准确实现硅片从片盒卸出和装入片盒，PECVD工

专利类型：发明专利

专利号：CN201210143212.6

专利申请（专利权）人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

专利发明（设计）人：王慧勇;魏唯;吕文利

主权项：一种石墨舟自动装卸片升降传递装置，包括竖直放置的框架（1）和用于暂存硅片的中转片盒（10），其特征是，所述框架（1）正面安装可带动片盒（5）上下滑动的片盒升降机构（2），所述框架（1）的一侧设有可带动中转片盒（10）上下滑动的硅片中转机构（7），并在硅片中转机构（7）的一侧设有可在片盒升降机构（2）和硅片中转机构（7）中水平传递片盒的硅片传递机构（8）；所述片盒升降机构（2）、硅片中转机构（7）和硅片传递机构（8）构成第一组升降传递装置，并在框架（1）的背面安装与第一组升降传递装置对称的第二组升降传递装置

专利地区：湖南