提高击穿电压的方法专利登记公告
专利名称:提高击穿电压的方法
摘要:本发明涉及一种提高击穿电压的方法,其特征在于:在嵌入式闪存高压量测前,将晶体管的栅极和源极接地,漏极加一电流。通过漏极附近的碰撞电离效应而形成最大通道横向电场,使得漏极区一些高能热载流子注入到栅氧层而产生一些电子空穴对,进而导致漏极区向栅极移动的热载流子的速率和饱和速率下降,使得晶体管击穿电压增大,使得HVNMOS晶体管的击穿电压大于闪存擦写动作的高压上限区域,进而完成HVNMOS的闪存擦写动作,提高HVNMOS器件的产能。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210143418.9
专利申请(专利权)人:上海宏力半导体制造有限公司
专利发明(设计)人:任栋梁;钱亮;李冰寒;胡勇
主权项:一种提高击穿电压的方法,其特征在于:在嵌入式闪存高压量测前,将晶体管的栅极和源极接地,漏极加一电流以在漏极产生最大通道横向电场。
专利地区:上海
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