旁轴解耦直驱芯片取放装置专利登记公告

专利名称：旁轴解耦直驱芯片取放装置

摘要：一种旁轴解耦直驱芯片取放装置，花键轴套通过一对轴承安装在基座上，固定在基座上的旋转电机通过同步带轮和同步带或直接驱动花键轴套旋转，花键轴在花键轴套内随其转动的同时可以相对其作升降运动；解耦套筒通过一对轴承安装在花键轴上，解耦套筒内的轴承内圈随花键轴一同相对轴承外圈旋转的同时，固定在基座上的线性电机通过线性电机连接件、解耦套筒和其内的轴承对直接驱动花键轴作升降运动，实现花键轴旋转和升降运动的解耦；摆臂固定在花键轴末端，随花键轴旋转和升降。减轻了电机负载并提高了运动精度，改善了结构动态特性，提高了升降运动所用

专利类型：发明专利

专利号：CN201210145726.5

专利申请（专利权）人：无锡派图半导体设备有限公司

专利发明（设计）人：何田;刘静

主权项：一种旁轴解耦直驱芯片取放装置，包括花键轴、带动花键轴转动的旋转电机、实现花键轴旋转和升降运动解耦的解耦机构、位于花键轴旁侧通过解耦机构带动花键轴升降的线性电机以及固定于花键轴末端并随花键轴旋转和升降的摆臂，其特征在于：花键轴套通过一对轴承安装在花键轴套基座上，花键轴套基座固定在基座上，花键轴套同步带轮固定在花键轴套上；旋转电机固定在基座上，旋转电机同步带轮固定在旋转电机输出轴上，同步带连接花键轴套同步带轮和旋转电机同步带轮，旋转电机通过上述两个同步带轮和同步带驱动花键轴套旋转，花键轴在花键轴套内随其转动的

专利地区：江苏