一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法专利登记公告

专利名称：一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法

摘要：一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法，其控制器（1）产生控制二维柔性铰链扫描台（2）的X方向和Y方向的移动信号，经X向和Y向高压驱动器（7、8）的放大后，控制二维柔性铰链扫描台实现X方向的扫描运动和Y方向的步进移动。X方向激光传感器（3）和Y方向激光传感器（4）采集二维柔性铰链扫描台（2）的位置信号。在二维柔性铰链扫描台（2）逐点移动过程中，信号检测模块（6）完成来自二次电子探测器（5）的二次信号的模数转换，以及来自X方向及Y方向激光传感器（3、4）位置信息的锁存处理功能。通过上述基于扫描台

专利类型：发明专利

专利号：CN201210158927.9

专利申请（专利权）人：中国科学院电工研究所

专利发明（设计）人：殷伯华;韩立;薛虹;徐哲;文良栋;夏瑞

主权项：一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统，其特征在于所述的控制系统由控制器（1）、二维柔性铰链扫描台（2）、X方向激光传感器（3）、Y方向激光传感器（4）、二次电子探测器（5）、信号检测模块（6）、X向高压驱动器（7）和Y向高压驱动器（8）组成；所述的控制器（1）产生控制二维柔性铰链扫描台（2）的X方向和Y方向的移动的控制信号，并处理来自信号检测模块（6）的信息数据；所述的二维柔性铰链扫描台用于实现X方向的扫描运动和Y方向的步进移动；所述的二次电子探测器（5）用于采集样品表面产生的二次电子信号；所述的X方向激

专利地区：北京