双面背接触太阳能电池的制备方法专利登记公告
专利名称:双面背接触太阳能电池的制备方法
摘要:本发明公开了一种双面背接触太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗、制绒;(2)扩散,在硅片背面形成第一扩散层;(3)在硅片的正面和背面制备阻挡膜;(4)在硅片的背面的部分区域进行开窗,去除所述阻挡膜;(5)将硅片放入碱液中,腐蚀去除所述部分区域的第一扩散层;(6)去除硅片正面的阻挡膜;(7)开孔;(8)扩散,在硅片正面、孔内及背面开窗区域形成第二扩散层;(9)刻蚀;去除阻挡膜,清洗;(10)设置钝化减反射膜;(11)设置金属电极;烧结。本发明在硅片的正面和背面制备了阻挡膜,再配合采用开窗、腐蚀的方
专利类型:发明专利
专利号:CN201210166623.7
专利申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司
专利发明(设计)人:殷涵玉;王登志;王栩生;章灵军
主权项:一种双面背接触太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)?清洗硅片表面,去除损伤层,在硅片的正面和背面进行制绒;(2)?硅片背靠背进行单面扩散,硅片的背面为扩散面,在硅片背面形成第一扩散层;(3)?在硅片的正面和背面制备阻挡膜;(4)?在硅片的背面的部分区域进行开窗,去除所述阻挡膜;所述部分区域为硅片上待开孔的孔的周围区域;(5)?将步骤(4)得到的硅片放入碱液中,腐蚀去除所述部分区域的第一扩散层;(6)?去除硅片正面的阻挡膜;(7)?在硅片上开孔;清洗硅片表面;(8)?将步骤(7)得到的硅片
专利地区:江苏
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