一种气相沉积设备专利登记公告
专利名称:一种气相沉积设备;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
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专利名称:一种气相沉积设备;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称:一种快速制备大范围垂直取向石墨烯的装置及其方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:浙江大学...Read more
专利名称:一种提高等离子体辅助化学气相沉积设备性能的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司...Read more
专利名称:等离子体表面处理方法及装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:雅视光学有限公司...Read more
专利名称:微晶硅膜形成方法以及太阳电池;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:株式会社IHI...Read more
专利名称:加热控制方法、装置和系统,加热腔及等离子体设备;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称:偏移量的生成方法和装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称:一种工艺腔传输控制系统;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:汉能科技有限公司...Read more
专利名称:烧结钕铁硼化学复合镀镍铜磷工艺;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:湖南航天工业总公司...Read more
专利名称:烧结钕铁硼化学复合镀镍磷工艺;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:湖南航天工业总公司...Read more
专利名称:用于无电镀的稳定的纳米粒子;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:罗门哈斯电子材料有限公司...Read more
专利名称:一种木材化学镀铜的活化工艺;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:内蒙古农业大学...Read more
专利名称:一种化学气相沉积炉;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:湖南南方搏云新材料有限责任公司...Read more
专利名称:自动循环等离子气相沉积系统;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:肇庆市腾胜真空技术工程有限公司...Read more
专利名称:一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:南京航空航天大学...Read more
专利名称:化学气相沉积机台;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:上海宏力半导体制造有限公司...Read more
专利名称:金属有机气相沉积装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:中微半导体设备(上海)有限公司...Read more
专利名称:原料供给装置及成膜装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社...Read more
专利名称:金属有机化学气相沉积设备及其腔室组件;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称:一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more