旋转基板支撑件及其使用方法专利登记公告
专利名称：旋转基板支撑件及其使用方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：应用材料公司...Read more
众多高校、科技企业信任之选
众多高校、科技企业信任之选
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专利名称：旋转基板支撑件及其使用方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：应用材料公司...Read more
专利名称：一种在晶片上生长含碳薄膜的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司...Read more
专利名称：氮化硅膜的成膜方法和成膜装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：东京毅力科创株式会社...Read more
专利名称：化学气相沉积装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：理想能源设备有限公司...Read more
专利名称：一种氧化铝超薄薄膜的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：华东师范大学...Read more
专利名称：一种可伸缩的电池片吸取装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：常州亿晶光电科技有限公司...Read more
专利名称：用于薄膜沉积的方法和系统;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：NCD有限公司...Read more
专利名称：多片远程等离子体增强原子层沉积腔室;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：嘉兴科民电子设备技术有限公司...Read more
专利名称：板式PECVD设备自动上下料系统的碳板升降台;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：无锡市奥曼特科技有限公司...Read more
专利名称：一种真空多腔原子层沉积设备;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：姜谦...Read more
专利名称：PVD设备及采用该PVD设备进行晶片处理的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称：双片镀膜用的工件输送装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司...Read more
专利名称：连续真空镀膜装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：纳峰真空镀膜（上海）有限公司...Read more
专利名称：掩模;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：乐金显示有限公司...Read more
专利名称：采用原子层沉积的超薄、连续、共形金属膜的成核以及作为燃料电池催化剂的用途;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：通用汽车环球科技运作有限责任公司...Read more
专利名称：一种钛合金表面抗烧蚀涂层的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：北京工业大学...Read more
专利名称：纯钨或钼薄壁器件的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国钢研科技集团有限公司...Read more
专利名称：类钻碳膜及其制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：财团法人金属工业研究发展中心...Read more
专利名称：在3C-SiC衬底上制备石墨烯的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：西安电子科技大学...Read more
专利名称：三维石墨烯/金属线或金属丝复合结构及其制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院上海硅酸盐研究所...Read more