一种光刻曝光系统集成装配方法专利登记公告
专利名称：一种光刻曝光系统集成装配方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司...Read more
众多高校、科技企业信任之选
众多高校、科技企业信任之选
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专利名称：一种光刻曝光系统集成装配方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司...Read more
专利名称：光刻系统;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司...Read more
专利名称：光照射装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：优志旺电机株式会社...Read more
专利名称：包括通过投影光学装置的光操纵的依赖图案的邻近匹配/调节;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：ASML荷兰有限公司...Read more
专利名称：感光性树脂组合物;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：住友化学株式会社...Read more
专利名称：光波导用树脂组合物及使用其的光波导以及其制法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：日东电工株式会社...Read more
专利名称：正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：奇美实业股份有限公司...Read more
专利名称：正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社...Read more
专利名称：正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社...Read more
专利名称：正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：富士胶片株式会社...Read more
专利名称：一种用于高感度光聚合版材的阳离子聚合成像组合物;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：北京师范大学...Read more
专利名称：硅氧烷聚合物组合物、固化膜以及固化膜的形成方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：JSR株式会社...Read more
专利名称：正型感光性树脂组合物及永久抗蚀剂;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：株式会社艾迪科...Read more
专利名称：底层树脂层中含有产酸剂的阳图热敏平版印刷版版材;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：乐凯华光印刷科技有限公司...Read more
专利名称：硬掩模组合物和形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路器件;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社...Read more
专利名称：硬掩模组合物和形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路器件;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社...Read more
专利名称：光刻机的垂向控制装置及方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司...Read more
专利名称：紫外光配合反应气体的掩模板清洗方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：上海华力微电子有限公司...Read more
专利名称：双压印方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司...Read more
专利名称：形成纳米结构的方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：铼德科技股份有限公司...Read more