二维直印式无掩膜等离子体刻蚀阵列装置专利登记公告
专利名称：二维直印式无掩膜等离子体刻蚀阵列装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：山东大学...Read more
众多高校、科技企业信任之选
众多高校、科技企业信任之选
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专利名称：二维直印式无掩膜等离子体刻蚀阵列装置;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：山东大学...Read more
专利名称：MEMS器件的真空封装结构及其制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所...Read more
专利名称：MEMS空气放大器离子聚集装置的制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：大连理工大学...Read more
专利名称：基于AFM虚拟纳米手策略的纳米机器人操作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院沈阳自动化研究所...Read more
专利名称：一种金属纳米颗粒二聚体的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所...Read more
专利名称：基于非线性频移效应光固化的纳米链接方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：东南大学...Read more
专利名称：有机无机纳米复合材料的可控制备;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：苏州大学...Read more
专利名称：批量制备的3D互连;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：霍尼韦尔国际公司...Read more
专利名称：一种尺寸可控的硅微/纳米线阵列的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：合肥工业大学...Read more
专利名称：一种基于三层结构的可调谐人工电磁材料及其制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所...Read more
专利名称：一种硅基悬空的金属纳米针孔及其加工方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所...Read more
专利名称：金属杯-柱复合纳米结构阵列及其制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国人民解放军国防科学技术大学...Read more
专利名称：一种双面硅纳米线阵列的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：江苏大学...Read more
专利名称：一种超高密度信息存储用纳机电探针的制备方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：江苏大学...Read more
专利名称：用于三层芯片级MEMS器件的系统和方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：霍尼韦尔国际公司...Read more
专利名称：结构体;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：三美电机株式会社...Read more
专利名称：一种四氧化三钴纳米线阵列、其制备方法以及作为锂离子电池负极的用途;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：浙江大学...Read more
专利名称：基于温度敏感电阻的热对流加速度传感器芯片的制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所...Read more
专利名称：微机电传感器的形成方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：上海丽恒光微电子科技有限公司...Read more
专利名称：MEMS装置的制作方法;专利类型：发明专利;专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司...Read more