背面金属工艺中断后晶片的返工方法专利登记公告
专利名称:背面金属工艺中断后晶片的返工方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:上海先进半导体制造股份有限公司...Read more
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专利名称:背面金属工艺中断后晶片的返工方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:上海先进半导体制造股份有限公司...Read more
专利名称:硅片的清洗工艺;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:常州银河半导体有限公司...Read more
专利名称:提高金属-绝缘层-金属电容层多次光刻重复性的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司...Read more
专利名称:图形化衬底的制作方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:映瑞光电科技(上海)有限公司...Read more
专利名称:一种金属-碳化硅欧姆接触快速退火方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第五十五研究所...Read more
专利名称:介质膜刻蚀方法和浅槽隔离形成方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司...Read more
专利名称:一种8英寸晶圆切口氧化膜去除方法和装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:有研半导体材料股份有限公司...Read more
专利名称:一种减少金属流电腐蚀的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:安集微电子(上海)有限公司...Read more
专利名称:一种钨化学机械抛光后的清洗方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:安集微电子(上海)有限公司...Read more
专利名称:一种减少金属腐蚀的清洗方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:安集微电子(上海)有限公司...Read more
专利名称:TSV通孔研磨清洗后的干燥方法及干燥设备;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司...Read more
专利名称:磊晶基板、使用该磊晶基板之半导体发光元件及其制程;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:昆山中辰矽晶有限公司...Read more
专利名称:元件的制造方法与平坦化制程;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:南亚科技股份有限公司...Read more
专利名称:一种控制锗纳米微结构尺寸的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所...Read more
专利名称:具易移除牺牲层的磊晶结构及其制造方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:李德财...Read more
专利名称:通过沿预定路径移动的写入喷嘴将粘合剂图案施布到基底上的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:ESEC公司...Read more
专利名称:薄膜形成方法及薄膜形成装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社...Read more
专利名称:一种用铟(In)进行外延片/硅片键合的方法;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:杨继远...Read more
专利名称:工艺数据采集方法、装置及系统;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司...Read more
专利名称:一种晶圆清洗装置;专利类型:发明专利;专利申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司...Read more